Као што сви знамо, постоји само један произвођач на свету који може да произведе ЕУВ литографију, то јеХоландски АСМЛ.
Разлог зашто постоји само један произвођач на свету је тај што је АСМЛ повезао многе кључне произвођаче, као што су Зеисс (Зеисс), немачка компанија за оптику, Цимер (САД) иТРУМПФ (Немачка).
АСМЛ је ове произвођаче везао за своју кочију кроз улагања, аквизицију, удео, оснивање истраживачких центара и тако даље, а ови произвођачи су вероватно једини произвођачи на свету који могу да производе ове производе, тако да на крају само АСМЛ на свету може производи ЕУВ литографију.
Међутим, недавно је кључни ланац снабдевања АСМЛ-а отрчао у Шенжен у Кини да изгради фабрику, а његова подружница у Шенжену се настанила у Баоан кинеско-немачком (Европском) индустријском демонстрационом парку.
Овај произвођач је немачка ТРУМПФ група (ТРУМПФ), то је АСМЛ-ова ЕУВ литографија, једини светски добављач ласерског извора.
ТРУМПФ производи у ЕУВ литографији, колико су важни? Прво ме саслушајте како објашњавам принцип ЕУВ литографије, разумећете.
Принцип ЕУВ литографије, поједностављено речено, усредсређен је на три главна система, ЕУВ систем извора ултраљубичастог светла, систем објективних огледала и систем столова.
Специфичан процес је коришћење ласера за побуђивање таласне дужине од 13,5 нм екстремне ултраљубичасте светлости, која се затим коригује да формира контролисани сноп светлости, који се затим пројектује на сто са фотомаском пре него што се пројектује кроз објективно огледало на сто за експозицију. и коначно урезан у коло на силиконској плочици обложеној фоторезистом.
Како се добија један од ЕУВ УВ система извора светлости бомбардовањем калајне (Сн) металне капљице ЦО2 ласером снаге 30 кВ, испаравањем у плазму и коначно добијањем ЕУВ светлости на таласној дужини од 13,5 нм.
Овај ЦО2 ласер од 30 кВ испоручује ТРУМПФ, једини на свету.
Не потцењујте овај ЦО2 ласер, он има 457.329 делова, дужина кабла у систему је до 7.322 метра, а тежина 17.090 кг, што је једна од најважнијих компоненти језгра у ЕУВ литографији.
Сада је ТРУМПФ отрчао у Кину да изгради фабрику, намера је јасна, односно оптимиста у погледу кинеског тржишта ласера, и још више дугорочног погледа, оптимиста у погледу кинеског тржишта литографије, будућност може да сарађује са Кином на изградњи ЕУВ литографије .
У ствари, већ постоји више од једног АСМЛ ланца снабдевања који иде у Кину да би изградио фабрику, постоје КМВЕ и други произвођачи, такође у Кину да би изградили фабрику.
У складу са тренутним трендом, можемо оптимистично очекивати да ће можда неће проћи много времена пре него што ће кинеска технологија литографије бити велики корак напред, па чак и обим излазне ЕУВ литографије, такође се може радовати, мислите ли?
